Plazma jellemzés

A Hiden plazmaszondák mérik a plazma legfontosabb paramétereit, és részletes információkat szolgáltatnak a plazma reakciókémiájáról.

jellemzés

Kapcsolódó termékek

  • Áttekintés
  • Alkalmazások
  • Brosúrák
  • Előadások
  • Plakátok
  • Publikációk/Idézetek

Áttekintés

Az ipari folyamatok széles körében elektromos plazmákat használnak, és gyorsan fejlődnek az új alkalmazások. A mikroelektronikai iparban elengedhetetlen a magasabb hatékonyság és a csökkentett geometria igénye a reprodukálhatóságra és a folyamatok megértésére.

A plazmaionok és semleges fajok reakciókinetikájának részletes megértése kulcsfontosságú szerepet játszik az olyan fejlett felületkezelési folyamatok, mint a HIPIMS kifejlesztésében.

Alkalmazások

A Hiden tömeg- és energiaelemzők (EQP és PSM) számos standard mintavételi lehetőséggel rendelkeznek, amelyek lehetővé teszik a plazma jellemzését számos alkalmazásban, többek között:

ECR - Elektron ciklikus rezonancia

Az ECR plazmát kémiai gőzleválasztásra, CVD-re és maratásra használják a félvezető-feldolgozás során. Az EQP és a PSM mágneses árnyékolása lehetővé teszi az ECR plazmaforrás által előállított nagy mágneses tér környezetben történő működést.