Nagy teljesítményű impulzus magnetron porlasztás (HiPIMS)

Szerző (k): Matthieu MICHIELS, Stephanos KONSTANTINIDIS, Rony SNYDERS

Megjelenés dátuma: 2013. október 10

Ez a cikk az ajánlat része

Nanotudományok és nanotechnológiák (jelenleg 147 cikk)

Ez az ajánlat hozzáférést biztosít a következőkhöz:

Az ellenőrzött cikkek teljes és frissített adatbázisa tudományos bizottságok

Kérdések a szakértői szolgálathoz és gyakorlati eszközök

Interaktív vetélkedők a megértés érvényesítésére és a tudás rögzítésére

Az ajánlat tartalmazza

2. Magnetron porlasztás vékony filmek szintéziséhez

A magnetron porlasztás egy technika vékony fém (vezetőképes) vagy kerámia (szigetelő) fóliák lerakására vérplazma.

A vérplazma, gyakran az "anyag negyedik állapotának" nevezik, semleges részecskékből, pozitív (és/vagy negatív) ionokból és elektronokból álló gáz. Az északi fény, a villám vagy a láng mind természetes megnyilvánulás.

A hideg plazmákban, amelyekről itt beszélünk - az anyagok feldolgozásához - az elektronok energiája sokkal nagyobb, mint az ionok és atomok, semleges molekuláké. Makroszkopikusan azonban a plazma általában a szobahőmérséklet közelében marad. Az elektronok feladják energiájukat a gáz atomjainak és molekuláinak, amelyek így ionizálódnak, disszociálnak és gerjesztődnek.