Vékony réteg koncepció
bevezetés
| Amint azt máshol bemutattuk, az úgynevezett vékony rétegek sajátos tulajdonságainak kiaknázására épülő technológiák a 20. század végén erőteljesen fejlődtek, és a fejlődés egyik legfontosabb útjává váltak. a sűrített anyag tulajdonságai miniatürizálásként vagy új szenzorok kifejlesztéseként, amelyek megvalósítása e technológia nélkül nem valósítható meg. Következésképpen ennek a modulnak az a célja, hogy jobban megértse az élvonalbeli eredmények alapjául szolgáló fogalmakat, amelyeket részletesen bemutatnak a környezet fizikai érzékelőiről szóló monográfiák alkalmával. Öt fő szakaszra osztják (vákuumtechnika, vékonyréteg-előkészítési technikák, jellemzési technikák, tulajdonságok, alkalmazások), amelyek néha különféle fontosságú alfejezetekre oszthatók. |
A vékony filmek használatának egyik fő nehézsége a jellemzőik reprodukálhatóságát érinti. Tehát először megvizsgáljuk, hogyan gyárt, azután jellemez vékony réteg. Ezután a következőkre fogunk koncentrálni specifikus tulajdonságok ezek közül a rétegek valószínűleg érdekesek lehetnek a szenzoros alkalmazások számára, tudatában annak, hogy a vékony rétegek sok másra is rátalálnak alkalmazások gyakorlatok különböző területeken, például optika vagy mechanika, amelyekről itt egy kicsit beszélni fogunk, és ezután jobban megismerhetjük a környezeti mennyiségek néhány tipikus érzékelőjének megvalósulását, haszonnal profitálva a vékonyréteg-technológiától a mikroprocesszorhoz úgynevezett "intelligens" eredményekhez vezetnek.
vékony réteg koncepció
Elvileg egy adott anyag vékony rétege ennek az anyagnak az egyik eleme, amelynek egyik méretét nevezzük a vastagság, nagymértékben lecsökkent, így általában így fogják kifejezni nanométer. Ez a nagyon kis távolság a két határfelület között (ez a kvázi kétdimenziósság) a fizikai tulajdonságok többségének zavart okoz. A szilárd és a vékonyréteg anyagának lényeges különbsége valójában azzal a ténnyel függ össze, hogy szilárd állapotban elhanyagolják, általában ésszerűen, a határok szerepe a tulajdonságokban, míg vékony rétegben éppen ellenkezőleg, a határfelületekhez kapcsolódó hatások lehetnek túlsúlyosak. Teljesen nyilvánvaló, hogy minél kisebb a vastagság, annál inkább felerősödik ez a kétdimenziós hatás, és fordítva, ha egy vékony réteg vastagsága meghaladja egy bizonyos küszöböt, akkor a vastagság hatása minimális lesz, és az anyag helyreáll a szilárd anyag jól ismert tulajdonságai.