Hozzájárulás az alumínium és a bór-nitridek epitaxiájához kémiai gőzleválasztással a

Hozzájárulás az alumínium és a bór-nitridek epitaxiájához kémiai gőzfestéssel magas hőmérsékleten Nicolas Coudurier Ezt a változatot idézve: Nicolas Coudurier. Hozzájárulás az alumínium és a bór-nitridek epitaxiájához kémiai gőzfestéssel magas hőmérsékleten. Anyagok. Grenoble Egyetem, 2014. francia. . HAL Id: tel-00994936 https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00994936 Beküldve 2014. május 22-én. A HAL egy multidiszciplináris nyílt hozzáférésű archívum tudományos kutatási dokumentumok letétbe helyezéséhez és terjesztéséhez, függetlenül attól, hogy azokat közzéteszik-e vagy sem. nem. A dokumentumok származhatnak francia vagy külföldi oktatási és kutatóintézetekből, vagy állami vagy magán kutatóközpontokból. A HAL multidiszciplináris nyitott archívum kutatási szintű tudományos dokumentumok letétbe helyezésére és terjesztésére szolgál, akár publikálva, akár nem, francia vagy külföldi oktatási és kutatóintézetekből, állami vagy magán laboratóriumokból.

hozzájárulás

ÉRTEKEZÉS TÉZISEI A GRENOBLE EGYETEM DOKTORI besorolásának megszerzése Specialitás: Anyagok, Mechanika, Építőmérnöki tudomány, Elektrokémia Miniszteri rendelet: 2006. augusztus 7. Nicolas COUDURIER előadása A Micha PONS rendezte és Raphaël BOICHOT rendezte a SIMaP laboratóriumában az 'I-MEP² Doktori Iskolában "Anyagmérnöki, mechanikai, környezetvédelmi, energetikai, folyamat-, gyártási" hozzájárulás az alumínium és a bór-nitridek epitaxiájához magas hőmérsékleten történő kémiai gőzfázisú leválasztással. A dolgozat 2014. január 16-án, a zsűri előtt nyilvánosan megvédve tagjai: Elisabeth BLANQUET a SIMaP Grenoble kutatási igazgatója, elnök Gabriel FERRO az LMI Lyon kutatási igazgatója, riporter Anne HENRY professzor a Linköpingi Műszaki Intézetben (Svédország), riporter Francis MAURY kutatási igazgató a CIRIMAT Toulouse-nál, vizsgáztató Raphaël BOICHOT előadó a Grenoble INP-n, társfelügyelő Michel PONS igazgató, igazgató kutatás a SIMaP Grenoble-nál, a disszertáció igazgatója Vincent FELLMANN mérnök, ACERDE, vizsgáztató Didier PIQUE mérnök, SPADE, vizsgáztató

Végül köszönöm a laboratórium volt doktori és posztdoktor hallgatóinak, Vincentnek, Clémentnek, Jean Jean-nak, Claire-nek, Coralie-nak, Audrey-nak és Thibaut-nak, hogy megkönnyítették integrációmat a laboratóriumba érkezésem után. Remélem, nincs vagy senki sem ebben a köszönöm listában. Ez a három év a SIMaP oratóriumában fantasztikus és személyes és szakmai szempontból gazdagító volt. Remélem, doktorandusaink továbbra is profitálni fognak a munkakörülményekből, a fogadásból és a támogatásból, amelyet a TOP csoportnál tapasztaltam. 3 P a g e

5.1.3. Kapcsolat a növekedés alatti túltelítettség, a növekedési sebesség és a hőmérséklet között. 135 5.2. A BN növekedésének esete. 139 5.2.1. Az aljzat megválasztása. 139 5.3. Az AlN és a BN növekedésének összehasonlítása. 139 5.4. Irodalomjegyzék V. fejezet. 140 Következtetések. 143 7 P a g e s

Tartalomjegyzék 8 P a g e s

a kialakult rétegek morfológiája és kristályminősége ki van téve. A növekedés egy közbenső szakaszának hozzáadását is ezen a részen fejlesztették ki. A IV. Fejezet a BN növekedésének eredményeit ismerteti. A folyamat optimalizálására a prekurzorok áramlási sebességének és a hőmérsékletnek az arányát vizsgáltuk. Fémes hordozón végzett növekedési teszteket is bemutatunk. Végül az V. fejezet összefoglalja a két vizsgált rendszer kísérleti és termodinamikai eredményeit. A növekedési mechanizmusok részletes ismertetése jobban megérti az N/Al aránynak az AlN o rétegek állapotára gyakorolt ​​hatását. A növekedés különböző szakaszainak hatásainak megértése segít megmagyarázni az AlN növekedésével kapcsolatos III. Fejezetben szereplő eredményeket. Kialakul a su strat BN növekedésére gyakorolt ​​hatása is. Végül összehasonlítjuk a növekedési sebességet, a gázfázis túltelítettségét, a hőmérsékletet és a képződött rétegek kristályos állapotát. 11 P a g e s