Vékony fémes fémanyagok és alkalmazások

fotolitográfiai folyamat

A a fotolitográfia utómunka néha vákuumeljárásokkal nyert fémes rétegekre alkalmazzák. Ez egy maratás, amelyet a félvezetőiparban széles körben használnak elektronikus alkatrészek gyártására. Ez a technika fényérzékeny gyanta használatából áll, amelynek utólagos krómmaszkon keresztüli expozíciója lehetővé teszi minták előállítását egy sík alkatrészen.

Meghatározzuk a különböző fotolitográfiai technikákat

"Klasszikus" fotolitográfia

A klasszikus fotolitográfiai folyamat több lépésből áll:

Fémes (vagy optikai) lerakódást előzetesen végeznek. Ezután a felületet többé-kevésbé viszkózus gyantával vonják be centrifugálási módszerrel (vastagsága a maratási sebességtől és a fémréteg vastagságától függ)

A gyantát megolvasztják. Ezt a gyantát ezután UV-sugárzásnak teszik ki a mintákat bemutató króm maszkon keresztül

A gyanta jellegétől (pozitív vagy negatív) függően vagy az UV-sugárzásnak kitett rész megszűnik, vagy fordítva. Ez a kinyilatkoztatás szakasza.